표제지

논문요약

목차

제1장 서론 9

제1절 연구 배경 및 목적 9

제2절 논문의 구성 10

제2장 관련 연구 11

제1절 센서 데이터를 활용한 고장예측 연구 11

제2절 정전 척 수명 예측에 대한 연구 11

제3장 데이터 수집 및 전처리 12

제1절 데이터 수집 12

제2절 훈련을 위한 데이터 선택 13

제3절 데이터 정규화 13

제4장 방법론 14

제1절 차분법(Differencing) 14

제2절 오토 인코더(Auto-encoder) 14

제3절 LSTM(Long Short-Term Memory) 15

제4절 평가지표 17

제5장 실험 방법 및 결과 17

제1절 실험 설계 17

제2절 차분법의 적용 및 평가 19

제3절 오토 인코더의 적용 및 평가 20

제4절 LSTM의 적용 및 평가 22

제6장 결론 25

제1절 연구 결과 25

제2절 향후 연구 26

참고문헌 27

〈표 1〉 오차 행렬 17

〈표 2〉 검증지표 17

〈표 3〉 차분법 검증지표 비교표 20

〈표 4〉 오토인코더 검증 지표 비교표 21

〈표 5〉 LSTM 검증지표 비교표 24

〈그림 1〉 차분법을 통해 변환된 데이터 패턴 14

〈그림 2〉 Overview of the autoencoder model 15

〈그림 3〉 LSTM의 기본구조 16

〈그림 4〉 실험 설계 Flow chart 19

〈그림 5〉 차분법을 적용한 데이터 추세 20

〈그림 6〉 오토 인코더를 적용한 데이터 추세 22

〈그림 7〉 LSTM을 적용한 데이터 추세 24