목차
Sputter-Ion Pumping의 기체특성 전산모사 / 구하연 ; 김형택 1
ABSTRACT 1
1. 서론 1
2. 초고진공 sputter-ion pump의 모델링 2
2.1. 스퍼터이온펌프(sputter-ion pump) 2
2.2. 터보분자펌프(turbo molecular pump) 3
3. 초고진공시스템 전산모사에 따른 기체특성 분석 4
3.1. 전산모사 결과 4
4. 결론 6
참고문헌 6