목차
특정 진공영역의 최적화 진공펌프 구성 전산모사 / 정광필 ; 최형준 ; 김형택 1
ABSTRACT 1
1. 서론 1
2. 저진공·중진공 영역 2
2.1. 저진공 펌프의 성능 비교 2
2.2. 보조펌프 (Booster Pump(Pum)) 3
3. 고진공 영역 5
3.1. 유확산펌프 (Diffusion Pump) 5
3.2. 유확산 펌프 전산모사 5
4. 결론 6
참고문헌 6