목차
VacSimMulti 전산모사기를 이용한 주사전자현미경(SEM) 진공시스템의 설계 / 김재희 ; 김형택 1
ABSTRACT 1
1. 서론 2
2. 표면분석 기술 2
2.1. 표면분석의 필요성 2
2.2. 표면분석과 진공의 상관성 3
3. SEM의 진공시스템 3
3.1. SEM의 원리 3
3.2. SEM의 진공 시스템 4
4. VacSimMulti(이미지참조) 전산모사기를 이용한 SEM 진공시스템의 최적 설계 6
4.1. Diffusion Pump System의 전산모사 6
4.2. Turbo-molecular System 7
4.3. 진공시스템의 bitmap표현 9
5. 결론 9
참고문헌 10