기초과학연구원 산하 중이온 가속기 라온은 200 MeV/u 이상의 빔 에너지로 최대 400 kW의 빔 출력을 갖는 가속기 시설이다. 빔을 안정적으로 가속하고 전송하기 위해서는 빔의 전류 량, 크기, 위치, 방출량 등의 특성을 파악하는 빔 진단 장치가 필수적이다. 라온의 입사기 및 초전도선형가속기 (SCL3)에서 빔의 특성을 측정하기 위해서 다양한 진단 장비를 설계하고 제작 후 설치하였다. 빔의 전류량 측정에는 패러데이 컵과 AC 계기용 변류기, 빔 프로파일 측정에는 빔 뷰어, 와이어 스캐너가 사용되었으며 방출량 측정에는 앨리슨 스캐너가 사용되었다. 측정 후 데이터는 파이썬 코드를 이용해 분석하도록 설계되었다. 또한, 초전도 가속기 구간에서 빔 손실을 측정하기 위해 플라스틱 디텍터 및 빔 로스 컬렉터가 개발되었다. 장치 구동을 위한 서보 모터 및 공기 실린더는 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러(PLC)를 사용하여 구동 테스트를 수행했으며, 전류는 DAQ를 통해 측정하며 정확성을 보장하기 위해 장치 설치 후 교정을 수행했다. 각 장치의 제어 및 모니터링은 RAON 제어 시스템에 사용되는 실험 물리학 및 산업 제어 시스템 (EPICS)를 기반으로 이루어진다. 빔 진단 장치들과의 통신은 EPICS의 프로세스 변수를 통해 이루어지며, 측정을 위한 순차적인 작업은 시퀀서를 통해 수행되도록 하였다. 본 학위논문에서는 중이온가속기 라온의 빔 진단 장치의 설계, 제작 및 제어 시스템에 대해 논의하고, 오프라인 및 온라인 테스트 결과 또한 제시한다.