반도체 산업은 대한민국 경제 산업에서 매우 중요한 역할을 맡고 있어 예방이 매우 중요하다. 반도체 산업은 IOT기술을 이용하여 공장 시스템이 무인화된 "스마트팩토리"를 총 5단계에서 현재 4~5단계 수준으로 달성하여 가장 빠르게 완전 무인화가 될 것을 전망하고 있다.

반도체 공정은 공정에 필요한 반응물과 공정과정에서 발생하는 생성물이 인화성과 반응성이 높아 화재나 폭발과 같은 재난이 발생할 수 있고, 이 외에도 가스 누출로 인명피해가 발생하거나 단선으로 인해 공정 라인의 중단 등의 경제적 피해가 발생할 수 있다. 반도체 공정 장비 또한 그 가격이 매우 높아 재난이 발생 시 복구에 있어 그 피해 규모가 더욱 커질 수 있다. 그리고 반도체 제조 공정은 클린룸이란 온도와 압력등이 통제되는 밀폐된 환경에서 이뤄지는데, 일반적인 공간보다 고온다습한 환경으로 인해 화재나 화학사고 발생 시 내부의 고가 장비에 더욱 영향을 주기 쉬워 재산피해를 방지하기 위해 예방정책이 중요하다.

반도체 산업은 산업안전보건법에 근거하여 공정안전관리제도(PMS)를 통해 재난 사고를 방지하고 있으며, 제출하는 보고서에는 위험성 평가를 진행한다. 기존의 반도체 사업장은 HAZOP기법을 활용해 위험성 평가를 진행하고 있는데, HAZOP기법은 전문가의 의견을 최대한 활용하여 모든 사고의 가능성을 예측할 수 있지만, 회의에 참여하는 인원의 자질이 중요하다는 점과, 정성적 평가이므로 데이터화의 어려움, 시간의 소요가 큰 단점을 가지고 있어 이에 대한 보완이 필요하다.

본 연구는 10년간 반도체와 반도체의 공정이 유사한 디스플레이 산업의 사고사례의 유형을 분류하고 사고원인을 파악하여, 반도체 사업장의 위험성 평가에 있어 정량적 평가 방안에 대한 제시와 새로운 기술들의 활용 방안과 정성적 평가를 통해 안전성 평가에 반영하는 방안을 제시하여 반도체 사업장의 안전성 향상에 대해 정량적으로 개선 효과를 제안하는데 의의를 두고 있다.