캐리어 선택적 접촉은 실리콘 태양 전지의 재결합 손실을 줄이는 데 효과적인 것으로 입증되어 변환 효율을 향상시킨다. 본 연구에서는 터널 산화물 패시베이션 접촉 후면 에미터(TOPCoRE)를 갖는 p 형 실리콘 태양 전지에서 정공 선택적 접촉 물질로서 아화학양론적 몰리브덴 산화물(MoOx) 필름의 적용을 조사하였다. MoOx 필름의 특성을 이해하기 위해 XPS, UPS 및 TEM 분석을 수행하여 결합 및 구조적 특성을 조사하였다. 분석 결과 MoOx 필름에서 다양한 Mo-O 결합 특성이 드러났다. 필름 두께를 5nm 에서 20nm 로 변경하여 약 5.02eV 의 낮은 일함수를 확인했다. 이는 계면에서 두꺼운 SiOx(Mo) 층이 형성되고 열역학적으로 검증된 산소 손실과 함께 아화학양론적 MoOx의 비율이 증가하는 MoOx 두께의 감소 영향 때문이라 예상할 수 있다. 그 후, 열처리를 수행하여 일함수는 증가했지만 계면 패시베이션 특성은 크게 감소하는 것을 관찰했다. 특히 국부적으로 접촉하는 셀형 구조에서 703.9mV 의 우수한 함축된 개방전압(iVoc) 특성을 달성하였다. 그러나 국부적으로 접촉하는 태양 전지를 제작하고 평가한 결과 단파장과 가시 영역에서 변환 효율이 낮아 전체 효율이 16.5%로 나타났다. 우리는 태양 전지의 성능에 영향을 미치는 주요 요인으로 전면 패시베이션과 낮은 일함수 특성을 확인했다. 이러한 한계를 해결하기 위해 시뮬레이션 연구를 수행하여 MoOx 전면 패시베이션 및 일함수 특성의 최적화를 통해 변환 효율을 21.8%까지 향상시킬 수 있는 가능성을 밝혔다. 이 연구는 실리콘 태양 전지용 정공 선택적 접촉 재료로서 MoOx 의 유망한 잠재력을 보여주며, 태양전지 성능에 영향을 미치는 핵심 요소를 식별하고 계면에서 기본 반응에 대한 통찰력을 제공한다.