표제지
목차
요약 10
제Ⅰ장 서론 12
제Ⅱ장 이론 15
2-1. 압전세라믹스의 기본이론 15
2-1-1. 압전세라믹스의 결정학적 범위 15
2-1-2. 압전세라믹스의 특성변화 20
2-1-3. 여러 가지 진동모드 23
2-2. BS-PT 압전 세라믹스 26
2-2-1. BS-PT 압전 세라믹스의 결정구조 26
2-3. AE센서의 구조 및 특성 30
제Ⅲ장 실험 32
3-1. 시편의 조성 32
3-2. 시편의 제조 33
3-3. 구조적, 전기적 특성의 측정 35
3-3-1. 밀도의 측정 35
3-3-2. 미세구조 및 결정구조의 측정 35
3-3-3. 유전상수 측정 37
3-3-4. 압전 특성의 측정 37
3-4. AE센서의 제작 및 특성 39
3-4-1. AE센서의 제작 39
3-4-2. AE센서의 감도특성 측정 41
제 Ⅳ 장 결과 및 고찰 43
4-1. 미세구조 43
4-1-1. 하소온도 변화에 따른 SEM 분석 43
4-2. 결정구조 특성 46
4-2-1. 하소온도 변화에 따른 X-ray 회절분석 46
4-3. 밀도특성 48
4-3-1. 하소온도 변화량에 따른 밀도변화 48
4-4. 유전 및 압전특성 49
4-4-1. 하소온도 변화량에 따른 유전 및 압전특성 49
4-5. 유전상수, 전기기계 결합계수의 온도의존성 52
4-5-1. 하소온도 변화에 따른 유전상수 및 유전손실의 온도의존성 52
4-5-2. 하소온도 변화에 따른 전기기계 결합계수의 온도의존성 54
4-6. AE센서의 감도측정 56
4-6-1. AE센서의 전기적 특성 56
4-6-2. AE센서의 감도측정 59
제Ⅴ장 결론 65
參考文獻 67
Abstract 69
연구 실적 목록 71
표 2.1. 복합 페로브스카이트 화합물의 예 19
표 2.2. 첨가제의 분류 22
표 2.3. 압전 진동모드 25
표 3.1. 시료의 제조회사 및 순도 32
표 4.1. 하소온도 변화에 따른 시편의 물성 55
표 4.2. AE센서의 전기적 특성 58
그림 2.1. 압전 세라믹스 재료의 결정학적 범위 16
그림 2.2. BaTiO₃(ABO₃) 세라믹스의 결정구조 17
그림 2.3. BS-PT의 3차 상도 26
그림 2.4. PbTiO₃ 기반 MPB 영역의 큐리 온도(Tc) 대 공차 계수 27
그림 2.5. AE센서의 기본 구조(공진형) 30
그림 3.1. 시편의 제조 순서 34
그림 3.2. AE센서 적용을 위한 시편 39
그림 3.3. 제작된 AE센서 40
그림 3.4. AE센서의 구조 40
그림 3.5. AE센서의 감도측정 시스템 42
그림 4.1. 하소온도에 따른 시편의 미세구조 45
그림 4.2. 하소온도에 따른 시편의 입도 45
그림 4.3. 하소온도에 따른 X-ray 회절 모양 47
그림 4.4. 하소온도에 따른 밀도 48
그림 4.5. 하소온도에 따른 전기기계 결합계수(kp)[이미지참조] 49
그림 4.6. 하소온도에 따른 유전상수(εr)[이미지참조] 50
그림 4.7. 하소온도에 따른 압전상수(d₃₃)[이미지참조] 50
그림 4.8. 하소온도에 따른 기계적 품질계수(Qm)[이미지참조] 51
그림 4.9. 하소온도에 따른 유전상수의 온도의존성 52
그림 4.10. 하소온도에 따른 유전손실의 온도의존성 53
그림 4.11. 하소온도에 따른 전기기계결합계수의 온도의존성 54
그림 4.12. AE센서의 임피던스 특성 58
그림 4.13. AE센서의 감도측정 시스템 59
그림 4.14. AE센서의 이론속도와 센서응답 61
그림 4.15. AE센서의 감도 특성 63