표제지

국문초록

목차

제1장 서론 12

1.1. 연구 배경 및 동기 12

1.2. 연구 내용 및 목적 13

제2장 실험 준비 14

2.1. 주사탐침열현미경 14

2.1.1. 탐침 구성 및 온도 계측 원리 14

2.1.2. 탐침 성능 평가 16

2.2. 신호 처리 시스템 제작 19

2.2.1. 회로 설계 19

2.2.2. 신호 처리 시스템 제작 21

2.3. 실험 장비 조건 23

2.4. SON 샘플 정보 25

제3장 실험 방법 27

3.1. 계측 원리 27

3.2. 계측 방법 29

제4장 실험 결과 및 분석 31

제5장 결론 38

참고문헌 39

Abstract 41

표 2.1. 실험 장비 조건 24

그림 2.1. 탐침의 주사전자현미경 사진 (a) 탐침, (b) 팁 15

그림 2.2. 탐침의 (a) 교류 전압-온도 그래프, (b) 주파수-온도 그래프 18

그림 2.3. 회로 모식도 20

그림 2.4. 신호 처리 시스템 모식도 22

그림 2.5. SON의 주사전자현미경 사진 (a) top view, (b) cross section view 26

그림 3.1. SON 내부에서의 열전달 모식도 (a) 공동 유무에 따른 열전달 차이, (b) 가열 주파수에 따른 열전달 차이 28

그림 3.2. (a) 온도-거리 실험 모식도, (b) 계측 방법 모식도 30

그림 4.1. 가열 주파수 5 Hz에서 위치에 따른 온도 점프 33

그림 4.2. 주파수에 따른 온도 점프 34

그림 4.3. SON의 이미지 (18 μm × 18 μm) (a) 표면 형상 이미지, (b) 열물성 이미지 35

그림 4.4. SON의 이미지 (1.8 μm × 1.8 μm) (a) 5 Hz에서 표면 형상 이미지, (b) 5 Hz에서 열물성 이미지, (c) 100 Hz에서 표면 형상 이미지, (d) 100 Hz에서 열물성 이미지 36

그림 4.5. A-A' 단면도 (a) 5 Hz와 100 Hz 표면 형상 단면도, (b) 5 Hz와 100 Hz 열물성 단면도 37