표제지
국문요약
목차
1. 서론 11
1-1. 연구 필요성 및 목표 11
2. 이론적 배경 12
2-1. 투명전도성산화물 12
2-2. TCO/Metal/TCO 구조 13
2-3. SnO₂ 14
2-3-1. SnO₂의 결정구조 14
2-3-2. SnO₂의 전기적 특성 15
2-3-3. SnO₂의 광학적 특성 16
2-4. Sputtering 17
2-4-1. Sputtering의 원리 17
2-5. Electron beam 20
2-5-1. Electron beam source 20
2-5-2. Electron beam 표면처리 21
3. 실험 방법 22
3-1. DC/RF Magnetron sputter system을 이용한 박막증착 22
3-2. Electron beam system을 이용한 표면처리 24
4. 실험 결과 및 고찰 26
4-1. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 구조적 특성 26
4-1-1. XPS를 이용한 적층박막의 깊이 방향으로의 성분 분석 26
4-1-2. XRD를 이용한 적층박막의 결정구조 분석 27
4-1-3. AFM을 이용한 적층박막의 표면형상 및 표면거칠기 분석 28
4-2. Ag 두께변화 따른 SAS 적층박막 전기·광학적 특성 29
4-2-1. Hall-effect measurement system을 이용한 전기적 특성 분석 29
4-2-2. UV-Vis. spectrometer을 이용한 광학적 특성 분석 32
4-2-3. Optical band-gap 34
4-2-4. 전기광학적 완성도 36
4-3. 전자빔조사에너지에 따른 SAS 적층박막 구조적 특성 38
4-3-1. XRD를 이용한 결정 구조 분석 38
4-3-2. AFM을 이용한 표면형상 및 표면거칠기 분석 40
4-4. 전자빔 조사에너지에 따른 SAS 적층박막의 전기·광학적 특성 41
4-4-1. Hall-effect measurement system을 이용한 전기적 특성 분석 41
4-4-2. UV-Vis spectrometer를 이용한 광학적 특성 분석 43
4-4-3. 전자빔 조사에너지에 따른 Optical band-gap 45
4-4-4. 전기적, 광학적 완성도 47
4-4-5. 전자빔 조사에너지에 따른 Photoluminescence(PL) 분석 49
5. 결론 50
참고문헌 51
영문요약 54
표 2-1. SnO₂의 특성[내용없음] 10
표 3-1. SAS 적층박막 증착 조건 23
표 3-2. SAS 다층박막의 전자빔 표면처리 조건 25
표 4-1. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의(200), (220) 결정립 크기 비교 28
표 4-2. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기적 특성 비교 31
표 4-3. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 평균 가시광 투과도 비교 33
표 4-4. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 Optical band-gap 비교 35
표 4-5. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기광학적 완성도 비교 37
표 4-6. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 결정립 크기 비교 39
표 4-7. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기적 특성 비교 42
표 4-8. 전자빔 조사에너지에 따른 SAS 적층박막의 평균 가시광 투과도 비교 44
표 4-9. 전자빔 조사에너지에 따른 SAS 적층박막의 Optical band-gap 비교 46
표 4-10. 전자빔 조사에너지에 따른 SAS 적층박막의 전기적, 광학적 완성도 비교 48
그림 2-1. TCO/Metal/TCO 구조 13
그림 2-2. SnO₂ 결정구조 14
그림 2-3. Sputtering 원리 19
그림 2-4. RF magnetron sputtering 원리 19
그림 3-1. DC/RF Magnetron sputter system 22
그림 3-2. ICP-RF type 전자빔 조사 장치 24
그림 4-1. SAS 적층박막의 깊이방향 성분 분석 26
그림 4-2. Ag두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 X선 회절패턴 분석 27
그림 4-3. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 표면거칠기 분석 (a) SnO₂ (60 nm) (b) SAS (30/10/30 nm)... 29
그림 4-4. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기적 특성 (a) SnO₂ (60 nm) (b) SAS (30/10/30 nm)... 31
그림 4-5. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 평균 가시광 투과도 비교 33
그림 4-6. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 Optical band-gap 35
그림 4-7. Ag 두께 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기광학적 완성도 (a) SnO₂ (60 nm) (b) SAS (30/10/30 nm)... 37
그림 4-8. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 X선 회절 패턴 분석 39
그림 4-9. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 표면거칠기 분석 (a) Before irradiation (b) E-Beam at 500 eV... 40
그림 4-10. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기적 특성 (a) Before irradiation (b) E-Beam at 500 eV... 42
그림 4-11. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 가시광 영역 평균 투과도 44
그림 4-12. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 Optical band-gap 46
그림 4-13. 전자빔 조사에너지 변화에 따른 SAS 적층박막의 전기적, 광학적 완성도 비교... 48
그림 4-14. 전자빔 조사에너지에 따른 Photoluminescence 분석 49