최근 자동차용 조명기기에서는 할로겐, 제논 램프에서 고휘도 LED로의 전환이 급증하는 반면 모듈의 소량화, 경량화로 인하여 보다 높은 신뢰성이 요구되고 있다. 그에 따라 가벼우면서도 열전도도가 높은 탄소 동소체 소재를 열 계면 물질에 활용하고자 하는 연구들이 계속되고 있는데, 그중 흑연은 결정도에 따라 열전도 특성이 크게 달라지기 때문에 결정성 분석이 반드시 함께 이뤄져야 한다. 본 연구에서는 알루미늄 판 위에 스퍼터링 공법으로 증착된 흑연질 탄소층의 두께와 결정도를 공정 조건에 따라 분석한다. 스퍼터링 공정 시에 접합 성능을 개선시키기 위해 우선 니켈과 크롬을 동시에 증착하고 그 후에 탄소를 증착하는데 이때, 탄소의 출력은 니켈과 크롬 출력에 4배에 해당하도록 실시하였다. 연구에 사용된 시편은 탄소의 출력과 선속도를 다르게 하여 제작되었고 탄소 결합 구조를 향상시키기 위한 열처리, 마이크로파 혹은 이온빔 조사를 거친 시편도 포함되었다. 증착층의 두께와 결합구조를 분석하기 위해 투과전자현미경 이미지와 회절패턴을 관찰하고, 니켈 크롬과 탄소의 분포를 확인하기 위한 EDS 분석도 함께 진행하였다. 추가로 탄소 결합구조 분석을 위해 Raman 분광법과 광전자 분광기를 활용하였다. 흑연질 탄소층의 미세구조 분석 결과와 열전도도 데이터간의 비교분석을 통해 스퍼터링 공정 조건에 따른 흑연질 탄소층의 결정도를 밝히고 더 나아가 얇은 두께와 높은 방열 특성을 갖는 자동차 주간주행 등 회로기판 모듈을 위한 최적의 공정 조건을 제시하고자 한다. 이를 통해 자동차 주간주행등의 설계 자유도를 확보하고 LED 수명을 높이는 등의 기대효과를 갖을 것으로 사료된다.