표제지
초록
Abstract
목차
제1장 서론 11
제2장 구조에 따른 실리콘 광 도파로 회절격자 결합기 연구 14
2-1. 회절 격자 결합기 구조 및 결합 조건 15
2-2. 회절 격자 결합기 결합 효율 및 도파로 손실 측정 실험 19
2-3. 회절 격자 결합기 결합 효율 및 도파로 손실 측정 결과 23
제3장 두꺼운 두께의 실리콘 도파로 기반 편광 빔 분파기 27
3-1. 파동 방정식 28
3-2. 두꺼운 실리콘 광도파로 편광 빔 분파기 설계 29
3-3. 두꺼운 실리콘 광도파로 편광 빔 분파기의 성능 전산모사 36
제4장 비가역 편광 회전기용 자기 광학 소재 연구 38
4-1. 자기광학 물질과 패러데이 회전 40
4-2. 금속-유기 분해법을 통한 박막 제작 41
4-3. 유리기판에 제조된 자기광학 소재의 물리적 특성 42
4-4. 유리 기판에 제조된 자기광학 상수 측정 및 결과 50
4-5. 실리콘 기판에 제조된 자기광학 소재의 물리적 특성 55
4-6. 실리콘 기판에 제 조 된 자기광학 상수 측정 및 결과 59
제5장 두꺼운 두께의 집적형 광 아이솔레이터 연구 63
5-1. 두꺼운 두께의 집적형 광 아이솔레이터 설계 65
5-2. 집적형 광 아이솔레이터 제작 및 공정오차 분석 70
제6장 결론 74
참고문헌 79
연구실적물 리스트 86