표제지
목차
초록 8
Abstract 9
제1장 서론 10
제2장 이론적 배경 12
2.1. M3D 소자 집적 기술 12
2.2. 열처리 공정 14
제3장 DUV laser annealing 17
3.1. 서론 17
3.2. 실험방법 18
3.2.1. DUV laser를 이용한 poly-Si TFT 제작 18
3.2.2. DUV laser를 이용한 3차원 적층 구조 20
3.3. 결과 및 고찰 23
3.3.1. DUV laser 열처리 후 a-Si 박막의 결정화 23
3.3.2. DUV laser 열처리 후 sheet resistance 변화 25
3.3.3. Poly-Si TFT 의 전기적 특성 27
3.3.4. DUV laser를 이용한 M3D structure 29
제4장 Microwave annealing 31
4.1. 서론 31
4.2. 실험방법 36
4.3. 결과 및 고찰 39
4.3.1. 다양한 cap layer에 따른 silicide 박막 전기적 특성 39
4.3.2. Ferromagnetic물질을 이용한 마이크로파 silicide 박막 특성 43
4.3.3. Microwave를 이용한 dopant activation 46
4.3.4. Microwave 조사 후 상,하부소자 층 면저항 변화 49
4.3.5. Microwave anneal 시 temperature profile 53
제5장 종합결론 55
제6장 참고문헌 56
Figure 2-1. Illustration of TVS(right) and M3D(left) design. 13
Figure 2-2. (a) Schottky contact between silicon and metal... 16
Figure 3-1. (a) SiO₂ 300nm depositon (b) a-Si:H 200nm... 19
Figure 3-2. The equivalent circuit of the upper and lower... 21
Figure 3-3. (a) a-Si:H 200nm deposition (b) DUV Laser... 22
Figure 3-4. SEM image of (a) the reference a-Si and... 24
Figure 3-5. Sheet resistance of a-Si and doped... 26
Figure 3-6. ID-VG of the poly Si TFTs after DUV...[이미지참조] 28
Figure 3-7. ID-VG according to DUV laser...[이미지참조] 30
Figure 3-8. Frequency change according to the... 30
Figure 4-1. Micowave mechanism 33
Figure 4-2. Silicide degradation vs. (a) Silicide formation... 34
Figure 4-3. (a) Thermocouple effect (b) temperature versus... 35
Figure 4-4. Schematic of M3D structure using microwave 37
Figure 4-5. Device fabrication process (a) Ni deposition,... 38
Figure 4-6. I-V characteristics of silicide using cap layers... 41
Figure 4-7. I-V characteristics of silicide using cap layers... 42
Figure 4-8. I-V characteristics of ferromagnetic materials 45
Figure 4-9. (a) sheet resistance of Boron-injected dopant... 47
Figure 4-10. Sheet resistance compared to RTA of... 48
Figure 4-11. Sheet resistance of top layer after annealing 51
Figure 4-12. Sheet resistance of bottom layer after annealing 52
Figure 4-13. Temperature profile of microwave 54