반도체 산업에서 사용되는 가스 및 유체는 인체에 유해한 것이 대부분이므로 내부식성 및 고진공 상태를 유지할 수 있는 유체제어시스템의 개발은 필수적이다. 유체제어시스템은 반도체 공정에서 장비의 유체를 공급, 제어하는 장치로서 반도체 장비에 사용되는 배관을 말한다.
기존의 유체제어시스템은 용접 포인트가 VCR 연결구 및 Tube로 구성되어있으며 각 포인트를 용접하여 유체를 제어하는 방식으로 유지보수가 어려우며 용접 포인트가 많아지게 되면서 부식성 가스에 취약하다. 유체제어시스템 내에서 유체의 내부 누설이 발생하면 고압이 저압라인으로 그대로 흘러 들어가서 관련 장치를 파괴하고 외부로 누설되어 2차 사고를 발생시킨다.
본 연구에서는 Metal Block형 밸브를 설계하여 Regulaor, Filter가 일체화된 유체제어시
스템을 개발하고 설계의 신뢰성을 평가하는 연구를 수행하였다. 전체 유체제어시스템에서 시스템 형상의 변화에 따른 유속 변화에 대한 연구를 진행하였으며, 시스템 내의 핵심부품인 다이어프램의 구조해석을 통해 설계의 신뢰성을 평가하였다.