표제지
목차
국문초록 7
제1장 연구 배경 9
1.1. 연구 목적 및 필요성 9
제2장 장비 제어 SYSTEM 12
2.1. 장비 제어 H/W 구성 (Master Board) 12
2.2. 장비 제어 H/W 구성 (In/Out) 14
2.3. 장비 제어 H/W 구성 (NetWork) 14
2.4. 장비 제어 H/W 구성 (Software) 15
제3장 소프트웨어 프레임워크 설계 18
3.1. 서비스 19
3.2. 장비 소프트웨어 프레임워크 19
3.3. 안드로이드 확장 프레임워크 21
3.4. 연동 프로그래밍 모델 23
제4장 소프트웨어 프레임워크 구현 26
제5장 안드로이드 기반 TP 시스템 설계 28
5.1. 시스템 구성 28
5.2. User 등록 방법 29
5.3. User 인증 설계 30
5.4. User 기능 제공 범위 설계 31
5.5. TP 접근 허용 절차 33
5.6. 장비 Main GUI 구조 35
5.7. 장비 Motor GUI 구조 37
5.8. TP(Teaching Pendent) Main GUI 구조 38
5.9. TP(Teaching Pendent) Manual GUI 구조 40
5.10. TP(Teaching Pendent) Setting GUI 구조 41
제6장 실험 결과 43
6.1. 실험 환경 43
6.2. TP (Teaching Pendent) 통신 및 동작 테스트 43
6.3. Ten-Key와 TP 비교 실험 44
6.4. 반도체 장비 제조 생산성 시간 비교 실험 46
제7장 결론 49
참고 문헌 51
Abstract 53
〈표1〉 Ten-Key와 Teaching Pendent 사양 비교 11
〈표2〉 Master Board 사양 13
〈표3〉 TP(Teaching Pendent) 화면 구성 정보 32
〈표4〉 실험 환경 43
〈표5〉 Test Result of Teaching Pendent Control Operation 44
〈표6〉 Ten-key와 Teaching Pendent Software 비교표 45
〈표7〉 실험 장비 구성표 46
〈표8〉 Motion Jog Response Processing Time 47
〈표9〉 Ten-key와 TP 사용 시 CAPA 측정 비교 48
[그림 1-1] 반도체 공정 장비 9
[그림 1-2] Ten-Key(텐키) 10
[그림 2-1] Master Board 12
[그림 2-2] Input / Output Module 14
[그림 2-3] NetWork 구성도 15
[그림 2-4] Config Software 16
[그림 2-5] NetWork Config 16
[그림 2-6] Motion Control 17
[그림 3-1] Android & Equipment 소프트웨어 프레임워크 18
[그림 3-2] Equipment 소프트웨어 프레임워크 20
[그림 3-3] Android Device 소프트웨어 프레임워크 22
[그림 3-4] Android to Equipment Service Process 24
[그림 5-1] TP(Teaching Pendent)시스템 구성도 28
[그림 5-2] TP USER 등록 절차 29
[그림 5-3] TP LOG-IN 절차 31
[그림 5-4] Control Access Procedure 33
[그림 5-5] 장비 시스템 Main Screen 35
[그림 5-6] 장비 시스템 Vision Screen 36
[그림 5-7] 장비 시스템 Motor Screen 37
[그림 5-8] TP(Teaching Pendent) Main Screen 38
[그림 5-9] TP(Teaching Pendent) Manual Screen 40
[그림 5-10] TP(Teaching Pendent) Motor Screen 42
[그림 6-1] TP을 활용한 장비 시스템 Teaching 44