표제지
목차
국문 요약 9
Abstract 10
1장 서론 11
1.1. 연구 배경 및 목적 11
2장 관련 이론 13
2.1. 레이저 측정 구조 13
2.2. 레이저 응용 길이측정 14
2.2.1. 레이저 주파수 안정화와 미터표준 15
2.2.2. 마이켈슨 간섭계 16
2.2.3. 헤테로다인식 길이측정 간섭계 17
2.2.4. 광분해에 의한 측정 19
2.3. 레이저 간섭길이 측정기의 측정오차 20
2.3.1. 레이저파장보정 오차 20
2.3.2. 불필요광로 오차 21
2.3.3. 피 측정물의 온도측정에 의한 오차 22
2.3.4. 여현오차 23
2.3.5. 아베오차 24
3장 실험장비 설계 25
3.1. 장비 설계 25
3.1.1. 다이얼 게이지 시험기 기준 장비 29
3.2. 실험 방법 설계 30
3.2.1. 교정 전 준비 사항 30
3.2.2. 다이얼 게이지 시험기 교정 방법 31
4장 실험 결과 32
4.1. 데이터의 분석 32
4.2. 데이터의 신뢰성 36
5장 결론 38
참고문헌 40
표 1. 레이저 간섭계 성능 및 데이터 29
표 2. 교정 대상 기기 29
표 3. 교정 데이터, 평균 및 표준편차 34
표 4. 기준 성적서 대비 편차 36
그림 1. 레이저 파장 13
그림 2. 레이저 측정기 구조 13
그림 3. 레이저 간섭계 14
그림 4. 마이켈슨 간섭계 16
그림 5. 헤테로다인식 간섭계 18
그림 6. 광분해에 의한 측정 19
그림 7. 불필요 광로 오차 21
그림 8. 여현오차 23
그림 9. 아베 오차 24
그림 10. 레이저 간섭계를 이용한 다이얼 게이지 시험기의 교정 25
그림 11. 교정 장비 사진(1) 26
그림 12. 교정 장비 사진(2) 27
그림 13. 교정 장비 사진(3) 28
그림 14. 절대 위치 설정 32
그림 15. 데이터 측정 33
그림 16. 레이저 지시값 33
그림 17. 기준 성적서 대비 측정 데이터 비교 35
그림 18. 기준 성적서 대비 편차 37