표제지
목차
논문개요 11
제1장 서론 13
1.1. 연구 목적 13
1.2. 연구 범위 15
1.2.1. 소결체 밀도 분석 15
1.2.2. 미세구조 분석 15
1.2.3. 정성 분석 15
1.2.4. 결정상 분석 15
1.2.5. 체적저항률 분석 15
제2장 이론적 배경 17
2.1. 질화 알루미늄 (AlN) 17
2.1.1. AlN 구조 17
2.1.2. AlN Powder Process 19
2.1.3. AlN Sintering 21
2.1.4. Ball Milling 23
2.2. 정전척 (ESC. Electro-Static Chuck) 25
2.2.1. 정전척 원리 25
2.2.2. 정전척 기구 (ESC Type) 27
2.2.3. 정전척 제조 29
2.3. 희토류 원소 (Rare Earth Metal) 31
2.4. 해결과제 34
제3장 본론 36
3.1. 실험 배경 36
3.2. 실험 방법 38
3.2.1. 질화 알루미늄(AlN), 산화 사마륨(Sm₂O₃) 38
3.2.2. 분말 제조 38
3.2.3. 가압소결 39
3.3. 분석 방법 40
3.3.1. 밀도 분석 40
3.3.2. 미세구조 분석 40
3.3.3. 정성 분석 40
3.3.4. 결정상 분석 41
3.3.5. 체적저항률 분석 41
3.4. 실험결과 42
3.4.1. 밀도 결과 분석 42
3.4.2. 미세구조 결과 분석 43
3.4.3. 정성 분석 (EPMA) 47
3.4.4. 결정상 결과 분석 (XRD) 49
3.4.5. 체적저항률 결과 (Volume Resistivity) 51
제4장 결론 54
참고문헌 56
Abstract 58
표 2.1. 분쇄 크기별 공정 분류 24
표 2.2. 일반적인 ESC 종류 30
그림 2.1. 질화 알루미늄(AlN) 결정구조 17
그림 2.2. Y₂O₃ 첨가 AlN 소결체 미세구조 22
그림 2.3. Ball mill 공정 모식도 24
그림 2.4. 반도체 공정용 정전척 (ESC) 25
그림 2.5. capacitor 모식도 26
그림 2.6. 유전체, 정전용량 개념 26
그림 2.7. Coulomb type 27
그림 2.8. Johnsen-Rahbek type 27
그림 2.9. 정전척 Chucking force 관련 요소 30
그림 2.10. 희토류 원소_주기율표 33
그림 3.1. 밀도분석 결과 42
그림 3.2. Sm₂O₃ 0.7wt% x500, x2000 미세구조 45
그림 3.3. Sm₂O₃ 1.9wt% x500, x2000 미세구조 45
그림 3.4. Sm₂O₃ 2.8wt% x500, x2000 미세구조 45
그림 3.5. Al₂O₃-Sm₂O₃ Phase diagram 46
그림 3.6. Sm₂O₃ 1.9wt% 소결체 EPMA 분석 47
그림 3.7. Sm₂O₃ 0wt% XRD 50
그림 3.8. Sm₂O₃ 0.7wt% XRD 50
그림 3.9. Sm₂O₃ 1.9wt% XRD 50
그림 3.10. Sm₂O₃ 2.8wt% XRD 50
그림 3.11. 체적저항 결과 53
그림 3.12. 인가전압에 따른 전류 변화량 53