표제지
목차
국문요약 8
Abstract 9
제1장 서론 10
1.1. 연구 배경 및 목적 10
제2장 Wedge Mount Leveler Design 12
2.1. Wedge Mount Leveler 시스템의 구성 12
2.1.1. Wedge 13
2.1.2. Screw 15
2.2. Wedge Mount Leveler Design 분석 16
2.2.1. 하중에 의한 Wedge 접촉면 마찰력 및 자립 조건 분석 16
2.2.2. 하중에 의한 Screw 접촉면 마찰력 및 자립 조건 분석 18
제3장 Wedge Mount Leveler Analysis 19
3.1. 유한요소해석(Finite Element Analysis) 19
3.2. 유한요소해석 모델 20
3.3. 해석 과정 23
3.3.1. 하중조건 23
3.3.2. 경계조건 24
3.3.3. 구속조건 25
제4장 해석 결과 25
4.1. Wedge Mount Leveler 높이에 따른 응력 및 변형 분포 해석 결과 25
제5장 결론 28
참고문헌 29
Table 2.1. Wedge Mount Leveler 기본사양 12
Table 2.2. M16×1.5 미터 가는 나사의 사양 15
Table 2.3. Wedge 접촉면의 마찰계수 16
Table 2.4. 나사짝에서 마찰계수 19
Table 3.1. Wedge Mount Leveler 제원 21
Table 3.2. 재료의 물성 22
Fig.1.1. Typical Semicon Fab Building 11
Fig.1.2. Sub-fab environment, Facilities and Integrated System-Downstairs 11
Fig.2.1. Wedge Mount Leveler System 13
Fig.2.2. 미터 가는나사, KS B 0204 15
Fig.2.3. Wedge F.B.D 17
Fig.2.4. 나사면 유효지름에 작용하는 힘 18
Fig.3.1. Wedge Mount Leveler 3D Model 21
Fig.3.2. 최저높이와 최고높이 모델링 21
Fig.3.3. 요소망 생성 22
Fig.3.4. 하중 조건 23
Fig.3.5. No Separation 접촉 부위 24
Fig.3.6. Frictional 접촉 부위 24
Fig.3.7. Fixed support 구속 조건 25
Fig.3.8. 최저 높이 변형 분포 26
Fig.3.9. 최저 높이 응력 분포 26
Fig.3.10. 최고 높이 변형 분포 27
Fig.3.11. 최고 높이 응력 분포 27