표제지
국문요약
목차
I. 서론 11
II. 고온플라즈마 전원장치 연구 배경 12
1. 개요 12
2. 고온 플라즈마 처리기술 13
1) 플라즈마의 이해 13
2) 고온 플라즈마 14
3) 고온 플라즈마의 필요성 15
4) 고온 플라즈마를 이용한 프레온가스 처리효율 15
3. 고온 플라즈마 전원장치 연구목표 17
4. 고온 플라즈마 전원장치 세부 연구내용 및 방법 19
1) 연구내용 19
2) 연구방법 20
III. 연구결과 및 검토 38
1. Arc 플라즈마 확산 및 출력 안정화 38
1) Arc 플라즈마 확산 38
2) Arc 플라즈마 확산 시 출력안정화 비교 39
2. 데이터 분석 40
1) 역률 측정 40
2) 동작주파수 측정 40
3) 출력전압 측정 41
4) 출력전류 측정 41
5) 정격출력 측정 41
6) 효율 측정 42
3. 연구결과 43
IV. 결론 44
참고문헌 45
Abstract 46
〈표 1〉 지구온난화에 영향을 미치는 가스들의 종류와 대기중 수명 12
〈표 2〉 Arc Plasma Power Supply 연구목표 18
〈표 3〉 Arc 플라즈마 확산을 위한 연구측정 데이터 43
〈그림 1〉 플라즈마 상태 13
〈그림 2〉 Arc 플라즈마 방전 도해 14
〈그림 3〉 프레온가스 처리 15
〈그림 4〉 유량별 가스분해효율 16
〈그림 5〉 100 1/min 유량에 대한 전력변화량 16
〈그림 6〉 아크 플라즈마파워 제품과 동작상태 20
〈그림 7〉 아크방전 인가전력과 유량에 따른 SF6 분해효율 21
〈그림 8〉 메인 트랜스포머 22
〈그림 9〉 정류 리액터 23
〈그림 10〉 Snubber 회로 24
〈그림 11〉 RCD 방전형 Snubber 24
〈그림 12〉 수랭식 방열판 25
〈그림 13〉 IGBT 발열 등가회로 25
〈그림 14〉 Plasma Power Supply Block Diagram 26
〈그림 15〉 Plasma Power Supply 구성도 26
〈그림 16〉 Flyback 방식 27
〈그림 17〉 Forword 방식 27
〈그림 18〉 Half-Bridge 방식 28
〈그림 19〉 Full-Bridge 방식 28
〈그림 20〉 DC-DC 컨버터 구동회로 29
〈그림 21〉 출력 전류 궤환 회로 30
〈그림 22〉 출력 전압 궤환 회로 31
〈그림 23〉 PWM 발생회로 32
〈그림 24〉 IGBT 출력파형-1 33
〈그림 25〉 IGBT 출력파형-2 33
〈그림 26〉 메인트랜스 사양 34
〈그림 27〉 Rg에 따른 IGBT On/Off Time 35
〈그림 28〉 IGBT 출력파형-3 35
〈그림 29〉 Plasma Power Supply Ass'y 도면 36
〈그림 30〉 Plasma Power Supply 제어 시스템 블록도 37
〈그림 31〉 Arc Plasma 확산(기존 → 개선후) 38
〈그림 32〉 개선 전 Plasma 확산 시 전압상태 39
〈그림 33〉 개선 후 Plasma 확산 시 전압상태 39
〈그림 34〉 역률측정 40
〈그림 35〉 동작주파수 측정 40
〈그림 36〉 출력전압 측정 41
〈그림 37〉 출력전류 측정 41
〈그림 38〉 정격출력 42
〈그림 39〉 입력전력 42
〈그림 40〉 Arc 플라즈마 확산 개선 전/후 비교 43