표제지
목차
I. 서론 8
1. 연구의 필요성 8
2. 연구 동향 9
3. 연구 목적 11
II. 본론 12
1. 실험 및 측정장치 12
1-1. 실험장치의 구성 12
1-2. 측정 장치 15
2. 실험 방법 16
2-1. 실험소재 16
2-2. 피가공 실험 조건 16
2-3. 실험 및 측정방법 17
3. 실험결과 및 고찰 20
3-1. SiC 실험 및 측정 결과 20
3-2. Al₂O₃ 실험 및 측정 결과 31
III. 결론 36
1. 탄화규소(SiC) 가공 실험 36
2. 알루미나(Al₂O₃) 가공 실험 36
참고문헌 38
ABSTRACT 40
Table 1. 연삭 실험장치의 제원 14
Table 2. 연삭가공 실험 조건 17
Table 3. 탄화규소 기초가공 실험 조건 18
Table 4. 알루미나 기초가공 실험 조건 19
Table 5. 숫돌의 입도와 피드에 따른 실험조건 19
Table 6. 스핀들 연삭저항 측정 결과 24
Table 7. 표면조도 측정 결과 24
Table 8. 스핀들 연삭저항 31
Table 9. 절입량별 스핀들 연삭저항 34
Table 10. DFG 연삭 가공표면의 입도별 표면조도 34
Table 11. DFG 연삭 가공표면의 절입량별 표면조도 35
Fig. 1. DFG 연삭가공 개념도와 가공 샘플 12
Fig. 2. 숫돌 고정부와 평면연삭기 13
Fig. 3. Z축 모터와 엔코더 13
Fig. 4. Z축 제어용 회로 구성 13
Fig. 5. 모바일 표면조도 측정기(Diavite DH-6) 15
Fig. 6. 접촉시 표면조도 측정기(Mitutoyo SJ-400, Japan) 15
Fig. 7. SiC 시편(좌)과 Al₂O₃시편(우) 16
Fig. 8. 연삭저항 모니터링 결과 20
Fig. 9. 연삭저항 모니터링 결과 21
Fig. 10. 연삭저항 모니터링 결과 21
Fig. 11. 스핀들 연삭저항 모니터링 결과(종합) 23
Fig. 12. 연삭저항 모니터링 결과 25
Fig. 13. 연삭저항 모니터링 결과 25
Fig. 14. 연삭저항 모니터링 결과 26
Fig. 15. 연삭저항 모니터링 결과 26
Fig. 16. 연삭저항 모니터링 결과 27
Fig. 17. 연삭저항 모니터링 결과 27
Fig. 18. 연삭저항 모니터링 결과 28
Fig. 19. 연삭저항 모니터링 결과 28
Fig. 20. 연삭저항 모니터링 결과 29
Fig. 21. 스핀들 연삭저항(Ø150, CG) 29
Fig. 22. 스핀들 연삭저항(Ø180, CG) 30
Fig. 23. 스핀들 연삭저항(Ø160, DFG) 30
Fig. 24. 연삭저항 모니터링 결과 32
Fig. 25. 연삭저항 모니터링 결과 34