표제지
ABSTRACT
목차
1. 서론 10
1.1. 연구배경 10
1.2. 논문의 구성 12
2. 퍼지 전문가 시스템 13
2.1. 퍼지 전문가 시스템(Fuzzy Expert System) 13
2.2. 퍼지 논리(Fuzzy Logic) 14
2.2.1. 퍼지화 (Fuzzification) 15
2.2.2. 지식기반 (Knowledge Base)과 추론 16
2.2.3. 비 퍼지화 (Defuzzification) 17
3. 퍼지 논리를 이용한 홀 정상 판단 18
3.1. 퍼지화 (Fuzzification) 19
3.2. 지식기반 (Knowledge Base) 19
3.3. 추론 (Inference) 19
3.4. 비 퍼지화 (Defuzzification) 20
4. 실험 결과 24
4.1. 퍼지 규칙을 이용한 홀 정상 판단 모의실험 24
4.2. 퍼지 논리를 이용한 홀 정상-오류 판단 실험결과 27
5. 결론 32
참고문헌 33
표 1. 기존 규칙에 의한 판단 결과 18
표 2. 입력변수 : Area_Ratio 21
표 3. 입력변수 : Center_Dist 22
표 4. 출력변수 : Judge_Ratio 23
표 5. 퍼지 규칙 베이스 23
표 6. 퍼지 논리를 이용한 홀 정상 판단 모의실험 결과 25
표 7. 퍼지 논리에 의한 에러검출 비교 28
표 8. 샘플 기판 검사 결과 31
그림 1. 퍼지 시스템 구성도 15
그림 2. 퍼지화 함수 16
그림 3. Area_Ratio의 멤버쉽 함수 21
그림 4. Center_Dist의 멤버쉽 함수 22
그림 5. Judge_Ratio의 멤버쉽 함수 23
그림 6. 퍼지 논리 계산 과정 26
그림 7. 퍼지 논리에 의한 판단영역 27
그림 8. 퍼지 논리에 의한 샘플 1의 실험결과 29
그림 9. 퍼지 논리에 의한 샘플 3의 실험결과 29
그림 10. 퍼지 논리에 의한 샘플 4의 실험결과 30