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목차
Microwave Cavity Plasma CVD의 방전특성과 다이아몬드 합성 / 정재인 ; 박형국 ; 박노길 ; 홍성필 1
ABSTRACT 1
1. 서론 1
2. 실험장치 및 방법 2
3. 결과 및 고찰 3
3.1. 마이크로파 출력에 따른 플라즈마의 방전상태 3
3.2. 가스압에 대한 마이크로파 출력과 기판온도와의 관계 4
3.3. 다이아몬드 합성 5
4. 결론 6
5. 참고문헌 7
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