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논문명/저자명
CH₄ 플라즈마 처리를 이용한 유기 발광 다이오드의 특성 및 전기적 등가회로 모델 연구 / 오세명 인기도
발행사항
서울 : 성균관대학교 대학원, 2006.8
청구기호
TM 537.622 ㅇ295c
형태사항
vi, 56 p. ; 26 cm
자료실
전자자료
제어번호
KDMT1200684474
주기사항
학위논문(석사) -- 성균관대학교 대학원, 물리학, 2006.8
원문

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표제지

목차

1. 서론 10

2. 이론 12

2-1. LED(light emitting diode) 12

2-1-1. Inorganic LED 12

2-1-2. Organic LED 13

2-2. OLED 의 특성 14

2-2-1. OLED 의 전기적 특성 15

2-2-2. OLED 의 광학적 특성 20

2-2-3. OLED 의 효율 특성 21

2-3. OLED 의 효율 특성 개선 25

2-3-1. 효율 특성 개선 방법 25

2-3-2. ITO(Indium-Tin-Oxide)의 특성 26

2-3-3. 전극의 표면 특성 개선 27

2-3-4. 절연층의 삽입 29

2-4. 박막 제작 방법 33

2-4-1. 물리적 증착(Physical Vapor Deposition: PVD) 33

2-4-2. 화학적 증착(Chemical Vapor Deposition: CVD) 36

2-4-3. 스핀코팅 37

제3장 실험 39

3-1. OLED 소자의 구조 및 물질 특성 39

3-2. 실험내용 및 방법 42

제4장 실험결과 및 토의 44

4-1. 플라즈마 처리 조건에 따른 OLED 의 전기적 특성 및 휘도 특성 44

4-2. 플라즈마 처리 조건에 따른 OLED 의 효율 특성 49

4-3. ITO 박막의 표면의 거칠기 특성 분석 52

4-4. ITO 박막 표면의 화학적 성분 분석 54

4-5. OLED 소자의 impedanace 측정과 전기적 등가 희로 모델링 57

제5장 결론 60

참고 문헌 61

ABSTRACT 64

표 1. 다양한 인광물질에 따른 OLED 특성 24

표 2. 여러 플라즈마 처리에 의한 일함수의 변화 28

표 3. 휘도 500cd/m²을 만들기 위해 필요한 전압 46

표 4. ITO 표면의 화학 성분비 54

표 5. 등가 회로 모델의 저항과 축전용량 58

그림 1. Inorganic LED의 구조 13

그림 2. OLED의 발광 원리 14

그림 3. 유기물/금속 계면에서의 전하 주입 모델 15

그림 4. 온도에 따른 OLED의 전류-전압 곡선 19

그림 5. 양자 효율 도식도 22

그림 6. 전자-정공의 재결합에 의한 엑시톤 형성 24

그림 7. LiF 두께에 따른 터널링 모델:(a) 0nm (b) 0.6nm (c)3.0 nm... 30

그림 8. 각각 다른 유전 상수를 갖는 절연층 삽입 에 따른... 31

그림 9. Sputter 장비의 개략도 34

그림 10. Evaporation 장비의 개략도 35

그림 11. PECVD 장비의 개략도 36

그림 12. Spin coating 에 의한 증착 과정 38

그림 13. OLED 소자의 구조 39

그림 14. (a) 발광층 Tris-(8-Hydroxyquinoline) aluminum 와 정공... 39

그림 15. Inductively coupled plasma tubular reactor system 41

그림 16. Thermal evaporator system 41

그림 17. EL 측정 장치 도식도 43

그림 18. CF4 플라즈마 시간에 따른 전류-전압 특성 44

그림 19. CF4 플라즈마 시간에 따른 휘도 특성 45

그림 20. 최적화된 CF₄, O₂ 플라즈마 처리 소자의... 47

그림 21. 최적화된 CF₄, O₂ 플라즈마 처리 소자의... 48

그림 22. 최적화된 CF₄, O₂ 플라즈마 처리 소자의... 49

그림 23. 효율 향상 메커니즘 50

그림 24. ITO 표면의 거칠기 52

그림 25. 플라즈마 처리한 ITO의 F 1s 의 XPS 스펙트라 55

그림 26. negative dipole 의 형성 메커니즘 56

그림 27. 물질의 표면에 다이폴이 형성 될 경우 56

그림 28. Admittance spectroscopy 57

그림 29. OLED 소자의 등가회로 모델 58

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