생몰정보
소속
직위
직업
활동분야
주기
서지
국회도서관 서비스 이용에 대한 안내를 해드립니다.
검색결과 (전체 1건)
원문 있는 자료 (1) 열기
원문 아이콘이 없는 경우 국회도서관 방문 시 책자로 이용 가능
목차보기더보기
표제지
요약문
ABSTRACT
목차
제1장 서론 11
1.1 연구배경 11
1.2 연구목적 12
1.3 연구동향 13
1.4 연구내용 14
제2장 EAPap 작동기 16
2.1 EAPap 작동기의 연구배경 16
2.2 EAPap 작동기의 구동원리 16
제3장 Soft Lithography 22
3.1 기존의 Lithography 기술 22
3.1.1 Photo Lithography 22
3.1.2 Nanoimprint Lithography (NIL) 24
3.2. Soft Lithography 25
3.2.1. Self Assembly 26
3.2.2. Self Assembly Monolayer 26
3.2.3. Micro Contact Printing 27
3.2.4. Micro Transfer Printing 29
제4장 Soft Lithography를 이용한 EAPap 패터닝 42
4.1 MTP를 이용한 EAPap 패터닝 42
4.1.1 매스터의 제작 42
4.1.2 PDMS Micro 스탬프 제작 43
4.1.3 Micro Transfer Printing 44
4.2 MCP를 이용한 EAPap 패터닝 45
4.2.1 Micro Contact Printing 45
4.2.2 Wet Etch 45
제5장 EAPap 패터닝 평가 53
5.1 실험결과 53
5.2 공정 분석 54
5.3 디바이스 성능평가 54
제6장 결론 61
참고문헌 62
Table 3-1 Wavelength of Light Source. 30
Table 3-2 Substrates and ligands that form SAMs [22] 31
Table 3-3. Techniques for characterizing SAMs of alkanethiolates on gold [22] 32
Table 3-4. Techniques that have been used for patterning SAMs. [22] 33
Table 3-5 Selective etchant (all in H2O) that have been used with pattern SAMs [37] 34
Fig. 2-1. Schematic diagram of EAPap actuator 19
Fig. 2-2 TSC result of cellophane paper with electric field 20
Fig. 2-3 Current-electric field graph with different electric field as a result of TSC 21
Fig. 3-1 Schematic illustration of the photo lithography 35
Fig. 3-2 A SEM image of cellulose paper surface 36
Fig. 3-3 Scope Image of patterned photographically 37
Fig. 3-4 Schematic illustration of NIL 38
Fig. 3-5 Schematic procedure for carrying MCP of alkanethiols on Au 39
Fig. 3-6 Printing process of a monolayer pattern on gold substrate 40
Fig. 3-7 The scheme identifies various pathways for dispersal of ink through stamp 41
Fig. 4-1 Fabrication procedure of Trench Etch 46
Fig. 4-2 Fabrication procedure of a Master 47
Fig. 4-3 Fabrication procedure of a Stamp 48
Fig. 4-4 Transfer Printing Process 49
Fig. 4-5 SAW IDT Pattern on EAPap 50
Fig. 4-6 Overview of Micro Contact Printing 51
Fig. 4-7 Micro Contact Printing Process 52
Fig. 5-1 Micro Transfer Patterning on EAPap 56
Fig. 5-2 Micro Contact Printing 57
Fig. 5-3 Principle of Micro Transfer Patterning 58
Fig. 5-4 Test pattern & rectenna diepole 59
Fig. 5-5 Rectenna test & dipole 60
원문구축 및 2018년 이후 자료는 524호에서 직접 열람하십시요.
도서위치안내: / 서가번호:
우편복사 목록담기를 완료하였습니다.
* 표시는 필수사항 입니다.
* 주의: 국회도서관 이용자 모두에게 공유서재로 서비스 됩니다.
저장 되었습니다.
로그인을 하시려면 아이디와 비밀번호를 입력해주세요. 모바일 간편 열람증으로 입실한 경우 회원가입을 해야합니다.
공용 PC이므로 한번 더 로그인 해 주시기 바랍니다.
아이디 또는 비밀번호를 확인해주세요