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표제지
목차
국문초록 6
제 1 장 서론 7
제 2 장 본론 11
제 1 절 태양전지 상부전극 형성에 관한 연구 11
1-1. 무전해 도금법과 전기 도금법을 이용한 상부전극 제조 11
1-1-1. 개요 11
1-1-2. 실험방법 11
1-1-3. 실험 결과 및 고찰 12
1-2. 진공증착법 및 전기도금법을 이용한 상부전극 제조 22
1-2-1. 개요 22
1-2-2. 실험 방법 22
1-2-3. 결과 및 고찰 22
제 2 절 물리증착법을 이용한 silicon nitried 박막의 제조 37
2-1. 개요 37
2-2. 실험 방법 44
2-3. 실험 결과 및 고찰 45
2-3-1. RF-power 변화에 따른 silicon nitride 박막의 제조 45
2-3-2. Argon gas flow rate 변화에 따른 silicon nitride 박막의 제조 49
2-3-3. Nitrogen gas flow rate 변화에 따른 silicon nitride 박막의 제조 53
제 3 장 결론 62
Reference 64
Abstract 66
감사의 글 67
원문구축 및 2018년 이후 자료는 524호에서 직접 열람하십시요.
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