[표지]
목차
연구계획 요약문 3
연구결과 요약문 4
한글요약문 4
SUMMARY 5
연구내용 및 결과 6
1. 연구개발과제의 개요 6
가. 연구의 개요 6
나. 연구의 필요성 및 중요성 8
2. 국내외 기술개발 현황 8
가. 국내 기술개발 현황 8
나. 국외 기술개발 현황 10
3. 연구수행 내용 및 결과 12
3.1. 고강성 텅스텐 나노탐침 제조 공정 기반 구축 12
3.2. TERS(Tip-enhanced Raman Spectroscopy)용 금 나노탐침 제조 공정 기반 구축 19
3.3. 콜로이드 탐침 FFM(Friction Force Microscopy) 이용한 나노박막 마찰·마멸 시험평가 위한 기술 타당성 평가 25
3.4. FFM(Friction force microscopy)을 이용한 나노박막 마찰·마멸 시험평가 기술 확립 35
3.5.1. 원자층 증착법(ALD)으로 제조된 지르코니아 나노 박막의 스크래치 시험 평가 52
3.5.2. 스크래치 시험을 통한 DLC(Diamond-like carbon) 박막 파손과 밀착 특성 평가 60
3.5.3. 그래핀 단분자막의 스크래치 특성에 관한 연구 69
4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 73
5. 연구결과의 활용계획 74
6. 연구과정에서 수집한 해외 과학기술정보 75
7. 주관연구책임자 대표적 연구실적 75
8. 참고문헌 75
9. 연구성과 79
10. 국가과학기술지식정보서비스에 등록한 연구시설·장비 현황 79
11. 연구개발과제 수행에 따른 연구실 등의 안전조치 이행실적 79
가. 연구실 안전 조치 이행 79
나. 교육 훈련 80
12. 기타사항 80
별첨 81
[별첨1] 대표연구실적 81
[별첨2] 세부 목표 관련 증빙 97
1. 나노스케일 마찰시험 기술 97
2. 나노/마이크로 스크래치 시험 평가기술 98
3. 콜로이드 탐침 강성 측정기술 100
4. 금 나노탐침 제조기술 102
5. 고강성 텅스텐 나노탐침 제조기술 105