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제출문
보고서 요약서
요약문
목차
1. 연구개발과제의 개요 7
연구개발의 개요 7
가. 고집적 시냅스/뉴론 인터커넥션을 위한 초정밀 나노 식각기술 개발 7
나. 자기 조립과 나노공정을 이용한 뉴론과 시냅스 소자 연결용 패턴 형성 기술 구현 7
다. 신경세포 모방 소자용 고집적 인터커넥션용 고강도 절연막 및 저결함 전도막 개발 7
연구개발의 필요성(중요성) 7
가. 시냅스/뉴론 소자간 고집적 인터커넥션을 위한 식각 및 patterning 공정 기술 개발의 필요성 7
나. 시냅스/뉴론 소자간 고집적 인터커넥션을 위한 절연막/전도막 공정 기술 개발의 필요성 9
연구개발 대상의 국내외 현황 11
가. 국외 현황 11
나. 국내 현황 14
2. 연구수행내용 및 성과 16
3. 목표 달성도 및 관련 분야 기여도 28
3-1. 목표 28
3-2. 목표 달성여부 29
3-3. 목표 미달성 시 원인(사유) 및 차후대책(후속연구의 필요성 등) 32
4. 연구개발성과의 활용 계획 33
당해연도 활용 계획 및 활용 방법 33
차년도 활용 계획 33
기대효과 33
붙임 34
붙임1. 참고문헌 34
붙임2. 연구개발결과활용계획서[내용누락;p.37-50] 36
붙임3. 주관기관의 자체평가 의견서[내용누락;p.51-54] 36