목차
반도체공정 응용 터보분자펌프의 개발기술 연구 / 임옥빈 ; 김형택 1
ABSTRACT 1
1. 진공기술 및 진공펌프의 발전 1
2. 분자펌프 2
3. 터보분자펌프의 특성 3
4. 터보분자펌프의 응용 5
4.1. 터보분자펌프의 이용 5
4.2. 터보분자펌프의 손상 및 부식 원인과 해결방안 6
5. 터보분자펌프의 발전방향 8
참고문헌 8