표제지
목차
약어표 8
Ⅰ. 서론 10
Ⅱ. 연구 내용 및 범위 13
1. 연구 내용 13
2. 연구 범위와 한계 16
Ⅲ. 연구 대상 및 방법 17
1. 연구 대상 17
가. 반도체 사업장 17
나. 노출평가 모델 23
2. 연구 방법 44
Ⅳ. 결과 47
Ⅴ. 고찰 73
Ⅵ. 결론 75
참고문헌 77
Abstract 82
부록 84
부록 1. 반도체 사업장의 화학물질 분석 결과 85
부록 2. ECETOC TRA 입력 변수 조사 결과 93
부록 3. ChemSTEER 입력 변수 조사 결과 97
〈표 1〉 위해성자료 구성항목 14
〈표 2〉 반도체 생산 공정 설명 20
〈표 3〉 노출시나리오별 노출평가 모델 25
〈표 4〉 REACH 하의 공정범주 27
〈표 5〉 ECETOC TRA 구동을 위한 입력 변수 30
〈표 6〉 직업적 노출 등급 35
〈표 7〉 ChemSTEER 구동을 위한 입력 변수 37
〈표 8〉 Klimisch score 46
〈표 9〉 노출평가 모델 입력변수 비교 예시 50
〈표 10〉 ECETOC TRA용 노출시나리오 54
〈표 11〉 ECETOC TRA 구동 결과 60
〈표 12〉 ChemSTEER용 노출시나리오 67
〈표 13〉 ChemSTEER 구동 결과 69
〈표 14〉 ECETOC TRA와 ChemSTEER 비교 72
[그림 1] ICT 실태조사 주요 결과 18
[그림 2] 반도체 생산 공정 19
[그림 3] 접근방식(Tiered approach)의 개요 24
[그림 4] ECETOC TRA 구동 단계 29
[그림 5] ChemSTEER 구동 단계 36
[그림 6] 연구대상 화학물질 48