태양광 패널, 건축물, 디스플레이, 광학 렌즈 등의, 유리를 사용하는 여러 분야에서 공통으로 존재하는 대표적인 문제점은 표면에서의 빛 반사와 먼지 등에 의한 표면 오염이다. 이러한 문제점들을 해결하기 위해 유리 위에 무반사, 소수성 등의 기능을 가지는 코팅을 적용하고 있다. 현재 상용화된 소수성 코팅은 불소화합물을 주로 사용하고 있지만, 이러한 폴리머 재료는 열적, 기계적 특성과 내구성이 무기재료에 비하여 좋지 않다고 알려져 있다. 따라서, 대체재로서 무기 금속 산화물 중 소수성을 띠는 희토류 산화물이 주목을 받고 있다. 특히, CeO₂는 소수성뿐만 아니라 높은 열적 안정성, 타 희토류 산화물보다 저렴한 가격 등의 장점으로 인해 많은 주목을 받고 있다. 일반적으로 소수성을 향상시키기 위해서는 낮은 표면 에너지와 다공성 표면을 가져야 한다고 알려져 있다. 비정질 AlxOy 박막은 뜨거운 물 내부에서 화학 반응에 의해 다공성 Al(OH)₃를 형성한다고 알려져 있다. 본 연구에서는 RF 스퍼터링법으로 증착한 CeO₂/다공성 Al(OH)₃ 다층 박막의 무반사/소수성 특성을 조사하였다. 측정한 박막의 광학상수를 이용한 시뮬레이션을 통해 가시광선 반사율이 낮은 박막 두께를 계산한 뒤, 계산된 구조를 가지는 다층 박막을 증착 하였다. 증착된 다층 박막의 반사율과 소수성 특성을 spectrophotometer와 contact angle meter를 이용하여 각각 평가하였다. 양면 증착한 CeO₂(8nm)/다공성 Al(OH)₃(188nm)/glass 코팅의 물접촉각은 126.7°, Rlum과 Ravg는 각각 0.5%, 1.1%로 우수한 무반사/소수성 특성을 보였다.