표제지
목차
Abstract 8
Ⅰ. 서론 10
1. 연구 배경 및 연구 목적 10
Ⅱ. 실험방법 14
2.1. 질량분율 (wt%)에 따른 PDMS, 경화제, 고유전체 잉크 질량 계산 및 혼합 16
2.2. 진공 공정 및 건조 공정 16
2.3. 유전층 분리 및 전도성 인쇄 16
2.4. 유전층 성능 측정 17
Ⅲ. 실험 결과 및 분석 20
1. 유전층 탄성 계수 및 인장 강도 21
2. 고 유전 잉크 질량 분율 별 유전 상수 24
3. 고 유전 잉크 질량 분율 별 SEM 이미지 25
4. 고유전 잉크 질량 분율 별 민감도 27
5. 유전층 두께별 유전 상수 28
6. 유전층 반응 시간 및 회복 시간 29
Ⅳ. 스크린 프린팅을 이용한 웨어러블 박막 정전용량 센서 제작 30
Ⅴ. 결론 32
참고 문헌 33
Table. 1. Performance and thickness of dielectric layer of piezo sensors in previous studies 13
Table. 2. Equivalent dielectric constant of dielectric layer according to wt% of high dielectric ink 24
Table. 3. Sensor's sensitivity according to wt% of high dielectric constant ink 27
Fig. 1. Sensor fabrication techniques steps 15
Fig. 2. Thin dielectric layer and capacitance measurement device image: (a) Dielectric layer separated from low sticking... 19
Fig. 3. Young's modulus and yield strength of dielectric layer according to wt% of high dielectric ink: (a) Elastic modulus and... 21
Fig. 4. Equivalent dielectric constant of dielectric layer according to wt% of high dielectric ink 24
Fig. 5. SEM images of the surface of dielectric layers, according to wt% of Cu₂O-based high dielectric ink: (a) 2% (b) 4% (c) 6% (d) 8%... 25
Fig. 6. Sensor's sensitivity according to wt% of high dielectric constant ink 27
Fig. 7. Dielectric constant according to dielectric thickness 28
Fig. 8. 150 μm thickness dielectric layer response and recovery time 29
Fig. 9. Dielectric constant according to dielectric layer thickness printed using screen printing technique 31