인쇄 전자 기술은 친화경, 대면적, 대량생산의 이점이 있어 유연, 웨어러블 전자 소자 제조을 위한 차세대 기술로서 각광을 받고 있다.
본 기술을 이용하여 제작 가능한 웨어러블 디바이스 중 유연, 신축성 정전 압력 센서는 구조 및 제작 과정이 간단하고, 신체 부착이 가능하다는 이점이 있어 웨어러블 헬스케어 장치 구현을 위한 대표적 소자로 활발히 연구되고 있다. 하지만 피부 부착 시 센서의 두께가 두꺼울 경우, 피부 이물감이 발생할 수 있으며, 변형 시 박리가 쉽게 발생할 수 있다.
본 연구에서는 센서 변형에 따른 박리 및 피부 부착 시 이질감을 최소화하기 위한 100 μm 이하 두께의 박막 정전 용량 센서를 개발하였다. 센서 부착 시 피부 이질감을 최소화하기 위한 센서 적정 두께를 선정하고, 박막 유전층 구현을 위한 제작 기법을 제안하였다. 또한, PDMS, 고 유전체 용액 간 혼합을 통해 민감도가 우수한 박막 센서를 제작 하였으며, 제작된 센서 성능을 실험적으로 검증하였다. 본 연구 결과는 피부 부착 및 변형에 강인한 웨어러블 센서 제작 및 이를 기반으로 한 웨어러블 디바이스 제조 기술 구현에 기여 할 것으로 기대된다.