Linear evaporation source chamber는 사용중 400~500℃의 온도와 반응성이 높은 코팅 물질의 증발 상태에 지속적으로 노출되며 정확한 위치를 이동하면서 증착을 할 수 있도록 하는 기능이 필요하다. 따라서 고온 구조재로서 치수 안정성이 필수적이며 내식성 및 내화학성이 좋고, 빠른 이동을 위해 가벼운 소재가 유리하다고 할 수 있다. 요구 물성을 고려하여 챔버로 사용되는 재료는 고온 재료 중 가장 가벼운 Ti이다.
기존 가공방식인 절삭 공법은 Ti 소재를 70% 이상 절삭하여 챔버를 제작하지만, 가공 과정에서 많은 스크랩이 발생하였다. 따라서 절삭 공정은 불필요한 재료 낭비와 높은 생산단가, 가공시간은 7일이 소요되는 단점이 있었다.
이러한 단점을 보완하기 위해 접합을 활용한 새로운 방식의 챔버 생산 공정을 개발하게 되었고 film 형태의 접합제보다는 paste 형태의 접합제가 더 효과적이라는 것을 알게 되었다.
또한 855℃에서의 접합 공정에서 소재를 움직임 없이 고정시키기 위해서는 소재의 형태에 따른 맞춤 지그 개발이 필수 요소임을 확인하게 되었다.
1차 실험에서는 3가지 형태의 지그를 제작하여 체결 후 열처리를 진행하였다. 그러나 휨 변형 방지에 있어서는 기대에 미치지 못하였고, 편차를 최소화하기 위해서는 더 강한 지그의 구속력이 필요하였다. 2차 실험에서는 지그 1개를 추가로 제작하여 구속력을 높였으나 변형 제어에 대한 효과가 크지 않았다. 3차 실험에서는 소형 챔버를 접합제와 지그를 활용하여 실험을 진행하였고 paste 형태의 접합제가 film 형태의 접합제보다는 효과적이라는 것을 알게 되었다
4차 실험에서는 paste 형태의 접합제와 장축의 지그를 활용하여 열처리를 진행하였다. 불필요한 가접 방식을 추가하는 것보다는 챔버의 응력을 최소화한채 지그로 챔버의 형태만 잡아서 접합 공정을 진행했을때 좋은 결과값을 얻을 수 있었다. 그 과정에서 지그는 계속해서 파손되었다. 그렇기 때문에 지그의 소재와 설계를 더 두껍고 강하게 변경한다면 챔버의 완성도를 더욱 높일 수 있을 뿐 아니라, 지그를 반영구적으로 사용 할 수 있게 됨으로써 절삭 가공에 비해 경제적인 측면에서도 비용을 절감할 수 있게 될 것이다.