표제지
국문요약
목차
I. 서론 13
A. 연구 배경 13
B. 연구 목적 21
II. 본론 22
A. 연구 방법 22
1. 실험 재료 22
2. 임피던스 바이오센서 제작 22
3. 표면개질 24
4. 나노 단위 자가조립단일층 형성 (APTES 고정화) 25
5. 바이오센서의 표면 변화에 대한 전기적, 화학적, 물리적 분석 26
B. 연구 결과 28
1. 임피던스 센서 표면에 대한 전기적 분석 28
2. 임피던스 센서 표면에 대한 화학적 분석 31
3. 임피던스 센서 표면에 대한 물리적 분석 32
III. 고찰 및 결론 35
A. 고찰 35
B. 결론 35
References 36
Abstract 48
그림 1. 임피던스 기반 바이오센서 도면 및 제작 41
그림 2. 임피던스 바이오센서 공정 프로세스 42
그림 3. APTES 처리를 통한 표면개질 실험 프로세스 43
그림 4. 각 실험 단계의 Capacitance 측정 실험 결과 44
그림 5. APTES 처리 전 후 바이오센서의 FT-IR 변화 값 45
그림 6. 표면개질에 따른 접촉각 변화 46
그림 7. 표면 변화의 AFM (Atomic force microscopy) 3D 이미지 47