표제지
요약문
목차
제1장 서론 10
1.1. 연구 배경 및 목적 10
1.2. 연구의 범위 및 방법 12
제2장 기본 이론 13
2.1. Clean Room의 개요 13
2.1.1. 클린룸(Clean Room)의 역사 15
2.1.2. 클린룸의 성장 17
2.1.3. 클린룸의 종류 19
2.1.4. 클린룸의 공조방법에 의한 분류 20
2.2. 반도체 클린룸 열원설비의 개요 23
2.2.1. 온열원 설비 23
1) 발생증기의 보유열 24
2) 배기가스의 보유열 24
3) 불완전 연소가스에 의한 열손실 (L) 25
4) 방열, 전열 및 기타 손실열 (L1) 25
5) 증기보일러의 효율 계산 26
2.2.2. 냉열원 설비 28
1) 저온형 냉수 부하의 특징 28
2) 고온형 냉수부하의 특징 29
3) 냉각탑 부하 30
제3장 냉각탑 폐열의 외조기 부하 적용 현황 분석 31
3.1. 외조기의 개요 31
3.2. 외조기 코일 內 냉각수 폐열 적용 검토 33
3.3. 외조기 냉각수 폐열 회수 개념 및 방안 35
3.4. 외조기 냉각수 폐열 회수 방안에 대한 Risk 분석 42
제4장 냉각탑 폐열회수에 의한 에너지 절감 및 이산화탄소 저감 효과 분석 47
4.1. 이산화탄소 절감의 필요성 47
4.2. 폐열 적용으로 인한 이산화탄소 절감량 48
4.3. 코일별 폐열 시스템 적용시 이산화탄소 발생량 절감 효과 49
제5장 냉각탑 폐열회수에 의한 경제성 분석 53
5.1. 냉각수 폐열 활용 개요 53
5.2. 시스템 개선에 따른 운영비 절감 53
제6장 결론 56
참고문헌 58
〈표2-1〉 클린룸의 등급 13
〈표2-2〉 FED-STD-209D(내용없음) 8
〈표2-3〉 클린룸을 필요로하는 산업 18
〈표3-1〉 냉각수 폐열회수 Concept 및 열 취득 가능온도 구분표 35
〈표3-2〉 외조기 폐열회수 방안 43
〈표4-1〉 코일별 폐열회수 시스템 적용시 이산화탄소 발생량 절감 효과 50
〈표4-2〉 코일별 외조기 단위풍량 당 이산화탄소 발생량 절감 효과 51
〈표5-1〉 코일 별 폐열회수 시스템 적용 시 외조기 운영비 절감효과 54
〈표5-2〉 코일 별 외조기 단위풍량 당 외조기 운영비 절감효과 55
〈그림2-1〉 부유입자수에 따른 Class등급 14
〈그림2-2〉 Open bay 방식 20
〈그림2-3〉 Fan Filter Unit 방식 21
〈그림2-4〉 AHU 방식 22
〈그림2-5〉 보일러 배관계통 23
〈그림2-6〉 저온형 냉동기 배관 계통 28
〈그림2-7〉 고온형 냉동기 배관 계통 29
〈그림2-8〉 냉각탑 배관 계통 30
〈그림3-1〉 외조기 각 부분의 구성 32
〈그림3-2〉 냉수 4.6'C 외조기의 열취득 34
〈그림3-3〉 외기 엔탈피 변화 (2008년 상반기, 수원지역) 37
〈그림3-4〉 외기 엔탈피 변화 (2009년 상반기, 수원지역) 37
〈그림3-5〉 저온형 냉동기 부하 (냉동기 용량: 11,200 USRT) 39
〈그림3-6〉 고온형 냉동기 부하 (냉동기 용량: 34,000 USRT) 39
〈그림3-7〉 저온형 냉동기 부하(냉동기용량:11,200 USRT) 40
〈그림3-8〉 고온형 냉동기 부하(냉동기용량:34,000 USRT) 41
〈그림3-9〉 외조기 냉각수 폐열 P&ID 구성 42
〈그림3-10〉 폐열회수 미적용 운영 44
〈그림3-11〉 냉각수 폐열회수 (방안-1) 적용 운영 45
〈그림4-1〉 외조기 구성 (풍량 10,000㎥/min) 48