표제지

감사의 글

목차

약어표 11

국문요약 12

제 1 장 서론 13

제 2 장 이미지 센서 제작 공정 15

제 1 절 이미지 센서 15

제 2 절 이미지 센서의 종류 17

1. CCD 센서 17

2. CMOS 센서 18

3. CCD 센서와 CMOS 센서의 비교 20

제 3 절 제작 공정 Flow 21

제 4 절 공정별 설명 23

1. 웨이퍼 FOIL MOUNT 23

2. 다이 SAW 23

3. 다이 본더 24

4. 다이 본더 경화 24

5. 와이어 본더 25

6. 3차원 검사 26

7. IR 필터 부착 27

8. Sealing 경화 28

9. Trim 28

10. Laser Marking 29

11. 최종 검사 29

제 5 절 기존 공정의 문제점 및 해결 방안 30

1. 수작업시 문제점 30

2. 문제점 해결 조건 31

제 3 장 FAM의 설계 32

제 1 절 공정의 구성 32

제 2 절 FAM 설계 개념 34

제 3 절 FAM의 구성 36

1. 주 제어부 36

2. 로더/언로더 38

3. 디스펜서 39

4. IR 필터 본더 41

5. UV 경화 43

제 4 절 FAM의 공정별 작업 순서 44

1. 로더 44

2. 디스펜서 45

3. IR 필터 본더 46

4. UV 경화 48

5. 언로더 49

제 4 장 FAM의 제작 및 결과 50

제 1 절 FAM 개념도 50

제 2 절 FAM 동작 프로그램 52

제 3 절 FAM 성능 측정 59

제 4 절 FAM 문제점 및 대책 61

제 5 절 향후 FAM 개선 방안 63

제 5 장 결론 66

부록 67

참고문헌 69

[table 1] a comparative table of CCD & CMOS 20

[table 2] the result of machine capacity 59

[table 3] the problem and solution 61

[Fig. 1] a use of image sensor 16

[Fig. 2] process flow of image sensor assembly 22

[Fig. 3] Wafer Foil Mount 23

[Fig. 4] die Saw 23

[Fig. 5] die bonder 24

[Fig. 6] wire bonder 25

[Fig. 7] 3 dimension inspection 26

[Fig. 8] IR filter attach 27

[Fig. 9] sealing cure 28

[Fig. 10] Trim 28

[Fig. 11] Laser Marking 29

[Fig. 12] final inspection 29

[Fig. 13] the progress of IR filter attach 32

[Fig. 14] component of control unit 37

[Fig. 15] concept of loader/unloader 38

[Fig. 16] concept of dispenser 39

[Fig. 17] concept of IR filter bonder 41

[Fig. 18] concept of UV cure 43

[Fig. 19] action flow of loader 44

[Fig. 20] action flow of dispenser 45

[Fig. 21] action flow of IR filter bonder 47

[Fig. 22] action flow of UV cure 48

[Fig. 23] action flow of unloader 49

[Fig. 24] concept drawing of IR FAM 50

[Fig. 25] development of IR FAM (front view) 63

[Fig. 26] development of IR FAM (top view) 64

[Fig. 27] IR filter attach machine 67

[Fig. 28] display of operation 68